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中文名稱：三氟甲烷

中文別名：氟仿;氟里昂-23;HFC-23滅火劑

英文名稱：trifluoromethane

英文別名：Carbon trifluoride; fluoroform; freon 23; Halocarbon 23; R-23;

分子式：CHF3

分子量：70.0138

外觀與性狀：無(wú)色無(wú)臭氣體。

產(chǎn)品用途

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，三氟甲烷用在二氧化硅及氮化硅的等離子蝕刻（plasma etching）中。三氟甲烷也是一種制冷劑，名稱為R-23或HFC-23，因?yàn)槠洳缓?，不?huì)造成臭氧層破洞，有時(shí)會(huì)用來(lái)會(huì)取代造成臭氧層破洞的三氟氯甲烷（cfc-13）。

三氟甲烷因?yàn)槠涞投拘?、不容易反?yīng)及高密度，可用作滅火劑使用。此時(shí)常使用杜邦的商標(biāo)名稱FE-13代表三氟甲烷。

注意事項(xiàng)

操作注意事項(xiàng)：密閉操作，全面通風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專門(mén)培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與氧化劑、易（可）燃物分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。